荷兰向中国交付7nm光刻机

项目分析

  荷兰光刻机厂商阿斯麦( ASML)向中国交付第一台7nm 制程光刻机。这是继去年宣布向中国出售首批 EUV 光刻机后,阿斯麦的又一重大举措。据悉,该设备将被用于上海微电子装备有限公司的集成电路生产线。去年11月,阿斯麦宣布,已经与中芯国际达成协议,向其提供一台 EUV 光刻机,帮助其实现14nm 工艺的量产目标。今年1月,阿斯麦还曾表示,将向华虹集团提供一台 EUV 光刻机,并在2021年完成交付。另外,该公司正在为中车集团提供一台 EUV 光刻机,预计将于2020年底前交货。阿斯麦是全球最先进的光刻技术供应商之一,也是荷兰最大的半导体设备制造企业。

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