高纯金属溅射靶材是指经过真空蒸发、熔炼或精密铸造等工艺制成的合金或单一元素的固体粉末。其化学成分和力学性能符合相应标准,表面无污染物质(如油漆、氧化皮、残渣),具有良好的可加工性及适用于不同领域的优越特性。
高纯金属溅射靶材是指经过真空蒸发、熔炼或精密铸造等工艺制成的合金或单一元素的固体粉末。其化学成分和力学性能符合相应标准,表面无污染物质(如油漆、氧化皮、残渣),具有良好的可加工性及适用于不同领域的优越特性。
高纯金属靶材主要包括钛靶、铝靶、钽靶、铌靶、钨靶、钼靶等。